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显微式激光测振仪

设备名称：显微式激光测振仪

型号：MSA-600

制造商：德国Polytec



主要功能：


主要性能指标：

最大50倍数显放大，2.5MHz带宽，10m/s最大速度；

0.005   (μm/s)/√Hz 速度分辨率，50fm/√Hz位移分辨率 。

主要用途：

用于微型麦克风和其他MEMS器件的实时动态特性测试